无油干式机械花样视频app下载概述

无油干式机械花样视频app下载 ( 以下简称干式机械泵 ) 是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式机械花样视频app下载同等量级或者接近的机械花样视频app下载。 

      目前，真空行业使用的大多数机械花样视频app下载都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学的发展以及真空应用的扩大，原有的机械花样视频app下载及其组成的抽无油干式机械花样视频app下载概述

气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使花样视频app下载内的介质严重变质，使泵不能正常工作。 

       对于普通的无油花样视频ios下载来说，虽然可用油封式花样视频app下载加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械花样视频app下载，则可以达到理想的使用效果。 

干式机械花样视频app下载的应用是的，主要有以下几个方面：

 1) 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

 2) 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

 3) 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械花样视频app下载可以满足要求；

 4) 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式花样视频app下载；

 5) 用做一般无油清洁花样视频ios下载的前级泵，以防止油污染。